一.除膠渣的目的:由于鉆孔后孔內(nèi)殘留下來的環(huán)氧鉆污不利于化學(xué)沉銅的沉積,而且環(huán)氧鉆污并非牢固地粘附在孔壁上,這就有可能使孔內(nèi)鍍層剝離、脫落。為了克服這一致命的缺陷,我們必須有除鉆污(即除膠渣)的工藝。除膠渣能徹底地清除鉆污,而且能使孔壁產(chǎn)生細小凹凸不平的小坑,提高了活化劑的吸附量,沉銅時能牢固地沉積在孔壁上。
二.除膠渣工藝:
膨松→兩次水洗→除膠渣→回收→兩次水洗→中和→兩次水洗→PTH
�、� 膨松:目的是為了溶脹和軟化環(huán)氧鉆污,是除膠渣前的準(zhǔn)備。
⑵ 水洗:沖洗殘余藥水,防止藥水污染。
�、� 除膠渣:采用強氧化劑(高錳酸鉀),溶脹氧化孔壁環(huán)氧樹脂,可徹底清除內(nèi)層銅環(huán)上的樹脂和孔壁鉆污,是沉銅前的充分準(zhǔn)備。
�、� 回收:回收由板中殘余的除渣藥水,可作除渣缸的藥液補充,再次利用。
⑸ 中和:是對高錳酸鉀和二氧化錳還原和清除處理。由于高錳酸鉀是強氧化劑,對后工序的調(diào)整劑和添加劑有“毒化”作用,它能氧化、分解各種添加劑,且生成不溶性的二氧化錳,嚴(yán)重污染藥水,影響孔壁鍍層質(zhì)量,因此必須清除它。